Polovodiče a přístroje

Domů / Aplikace / Polovodiče a přístroje
Polovodiče a přístroje

Polovodiče a přístroje

V odvětvích vodivých materiálů a přístrojové techniky slouží příruby jako stěžejní součásti, které současně plní funkce připojení, těsnění, umístění instalace, tepelného managementu a odolnosti proti znečištění. V systémech vysokého/ultra-vysokého vakua pro polovodičové procesy, jako je litografie, leptání a nanášení, umožňují příruby typů včetně KF, CF a ISO standardizovaná rozhraní a těsnění mezi komorami, sestavami čerpadel a ventily. Tím se eliminuje kontaminace nečistotami, čímž je zajištěna výtěžnost procesu wafer.